[18p-G201-1~16] SP6 集積化MEMSの発展と展望（集積化MEMS技術研究会発足１０周年記念シンポジウム）

[18p-G201-2] [基調講演] 「集積化MEMS技術研究会」の発足と異分野融合研究

〇石田 誠¹ (1.豊橋技科大)

キーワード：集積化MEMS、LSI技術、センサ・MEMS

応用物理学会としては、MEMS関連分野の研究会として初めての「集積化MEMS技術研究会」が2008年5月に発足した当時のエピソードと、LSI技術とMEMS技術の両技術分野の融合による異分野融合研究の例を紹介し、本研究会の発足の意義と貢献を示す。