[18p-G201-1~16] SP6 集積化MEMSの発展と展望（集積化MEMS技術研究会発足１０周年記念シンポジウム）

[18p-G201-3] [基調講演] 応物と集積化MEMS技術研究会

〇益 一哉¹ (1.東工大未来研)

キーワード：CMOS、MEMS、集積化

集積化MEMS技術研究会は発足10年を迎える。設立時の状況と今の状況を鑑み、これからのこの分野の研究、開発の方向性、将来を論じる。