[18p-G201-1~16] SP6 集積化MEMSの発展と展望（集積化MEMS技術研究会発足１０周年記念シンポジウム）

[18p-G201-6] 集積化CMOS-MEMS技術の課題と展望

〇町田 克之¹、益 一哉¹ (1.東工大)

キーワード：集積化CMOS-MEMS、センサ、More than Moore