[18p-P12-1~4] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[18p-P12-1] Si/SiO₂ナノウォールアレイのPL測定

〇平井 政和¹、小長井 誠¹、市川 幸美¹ (1.東京都市大学総研)

キーワード：シリコン　Nano-wall Arrays