[18p-P13-1~13] 13.9 Compound solar cells

[18p-P13-7] Sulfur behavior of Sn-S thin films by sulfurization and heat treatment

〇Taichi Tousuke¹, Tomoya Mita¹, Keisuke Asaka¹, Mutsumi Sugiyama¹ (1.Tokyo University of Science)

Keywords:SnS, solar cell, sulfurization

近年、化学堆積・蒸着・ALD法等でSnSを製膜後、SやH₂Sを用いた硫化やN₂熱処理を行う報告例が増えており、高効率SnS太陽電池実現のための、成膜後プロセスとして定着しつつある。今回我々は、Sn-S薄膜をさまざまな条件で硫化することによる影響として、Sの拡散やグレインの大きさなどを調査した。