2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

15 結晶工学 » 15.6 IV族系化合物(SiC)

[18p-P14-1~19] 15.6 IV族系化合物(SiC)

2018年3月18日(日) 16:00 〜 18:00 P14 (ベルサール高田馬場)

16:00 〜 18:00

[18p-P14-1] Si-Cr系溶媒を用いた4インチ径SiC単結晶の溶液成長

楠 一彦1、関 和明1、岸田 豊1 (1.新日鉄住金)

キーワード:溶液法、4H-SiC

溶液法SiC単結晶の実用化を見据えると、現在よりも一層の長尺化、大口径化の結晶成長技術の開発が必要となる。そこで、今回、(1)2インチ径SiC結晶おける長尺成長および(2)大型の種結晶を使用した4インチ径SiC結晶成長を試みた。