[18p-P14-1~19] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[18p-P14-1] Si-Cr系溶媒を用いた4インチ径SiC単結晶の溶液成長

〇楠 一彦¹、関 和明¹、岸田 豊¹ (1.新日鉄住金)

キーワード：溶液法、4H-SiC

溶液法SiC単結晶の実用化を見据えると、現在よりも一層の長尺化、大口径化の結晶成長技術の開発が必要となる。そこで、今回、(1)2インチ径SiC結晶おける長尺成長および(2)大型の種結晶を使用した4インチ径SiC結晶成長を試みた。