[18p-P15-1~11] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

[18p-P15-3] シリコンナノワイヤを用いた微小熱電発電デバイスの短レグ効果

〇武澤 宏樹¹、姫田 悠矢¹、橋本 修一郎¹、大場 俊輔¹、大和 亮¹、熊田 剛大¹、徐 茂¹、目崎 航平¹、富田 基裕^1,2,3、詹 天卓¹、松木 武雄^1,4、松川 貴⁴、渡邉 孝信¹ (1.早大理工、2.明大理工、3.学振研究員、4.産総研)

キーワード：エナジーハーベスティング、熱電発電デバイス、シリコンナノワイヤ

当グループでは、新しいSi-NW-μTEG(Micro Thermoelectric Generator)構造を提案し、10～100 nmの範囲において、Si-NWを短くすることで発電量が増加するという結果を得た。今回、Si-NWをさらにサブミクロンオーダーにまで短くすることで、発電パワーが大幅に増大することを確認した。