[18p-P2-1~10] 6.5 表面物理・真空

△ [18p-P2-5] 参照スペクトルを用いた動的Shirley法によるX線光電子分光スペクトルの解析

〇(B)仲村 和貴¹、村上 諒¹、片岡 範行¹、陰山 弘典¹、田中 博美¹、松本 凌^2,3、篠塚 寛志²、吉川 英樹²、田沼 繁夫²、吉原 一紘⁴ (1.米子工業高等専門学校、2.物質・材料研究機構、3.筑波大学、4.シエンタオミクロン)

キーワード：表面分析、XPS、スペクトル分解