[18p-P2-1~10] 6.5 表面物理・真空

[18p-P2-7] 原子スケールラフネスを有する基板とポリマー間のトライボロジー解析

〇宮下 侑也¹、多田 和広¹、安田 雅昭²、平井 義彦² (1.富山高専、2.大阪府立大学)

キーワード：トライボロジー、分子動力学

ナノスケールの狭小領域で発生する摩擦，潤滑現象を理解することは，ナノ加工プロセスやナノ流体工学などのナノテクノロジー分野において重要である．また近年では，ナノインプリント技術の高度化にむけて，成型時に被成型材料と金型及び基板との間で生じるナノスケールでの摩擦現象を理解することが必要となっている．本研究では，ラフネスを有する金属基板とポリマー材料の間に働くせん断応力や粘度を分子動力学シミュレーションによって計算し，せん断速度や膜厚等との関連性を調べた．