[18p-P6-1~18] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[18p-P6-11] 金属塩化物処理によるSi基ナノシート改質の試み

小西 一摩¹、久次米 佑哉¹、加藤 翼¹、熊澤 佑貴²、高橋 尚久³、難波 直樹³、〇立岡 浩一² (1.静岡大工、2.静岡大総合科技研工、3.ヤマハ発動機先進材料研)

キーワード：ナノシート、金属塩化物