[18p-P6-1~18] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[18p-P6-9] Si(111)基板上へのCaSi₂薄膜形成

〇伊藤 健治¹、大砂 哲¹、中野 秀之¹、末益 崇² (1.豊田中研、2.筑波大)

キーワード：カルシウムシリサイド、シリセン