[18p-P7-1~7] 13.3 絶縁膜技術

[18p-P7-4] Y添加によるアモルファスGeO₂ネットワーク構造の安定化

〇西村 知紀¹、唐 暁雨¹、魯 辞莽¹、矢嶋 赳彬¹、鳥海 明¹ (1.東大院工)

キーワード：ゲルマニウム、ゲルマニウム酸化膜