[18p-P9-1~34] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[18p-P9-18] Si上のフェムト秒レーザー励起表面プラズモンの伝搬損失

〇宮地 悟代¹、萩谷 将人¹ (1.東京農工大)

キーワード：表面プラズモンポラリトン、フェムト秒レーザー加工、シリコン

表面プラズモン(SPP)に付随した高強度の近接場を利用すると、アブレーションによってナノ加工が可能である。したがって、より制御よく加工を行うためにはSPPの特性を明らかにすることが必須である。そこで、本研究ではSPPの伝搬特性を理解するため、共鳴曲線の半値全幅を調べた。その結果、高いフルーエンスFでは半値全幅が減少した。これは、高いFによって内部損失の少ないSPPが励起できることを示している。