[18p-P9-1~34] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[18p-P9-27] 金属コーティングシリカ球ピラミッドアレイの作製とその光学特性

〇(B)三田 真衣¹、松谷 晃宏²、西岡 國生²、佐藤 美那²、磯部 敏宏¹、中島 章¹、松下 祥子¹ (1.東工大材料、2.東工大技術部マイクロプロセス部門)

キーワード：メタマテリアル、自己集積、ナノ構造

メタマテリアルの研究は数多く行われているが、可視光波長よりも小さいユニットを、大面積で配列させた例は少ない。特に基板に垂直にユニットを配列させた例はほぼ皆無である。我々は、シリカ微粒子2層コロイド結晶へのドライエッチングを用い、そのような構造体の作製を試みた。