[19a-A204-1~10] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

[19a-A204-10] 電気伝導性フラーレン混合電子線レジストを用いた有機ナノデバイス

〇中島 安理¹、田部井 哲夫¹、安川 達也¹ (1.広島大ナノデバイス研)

キーワード：電子線レジスト、フラーレン、有機ナノデバイス

近年、有機材料を用いたエレクトロニクスデバイスが、軽く、柔らかい特徴を持つため注目されている。有機エレクトロニクスでは、ナノサイズの有機デバイスを高集積に作製する方法の確立が課題の1つである。今回、有機電子線レジストにフレーレンを混合させて電気伝導性を持たせ、電気伝導性の有機ナノドットや有機ナノワイヤ構造を電子線露光と現像のみの簡便なプロセスで作製した。