[19a-B201-1~8] 3.15 Silicon photonics

[19a-B201-1] Ge grating coupler for fiber to waveguide coupling in the mid-infrared

〇(B)Rikito Osako¹, Xuejun Xu¹, Kentarou Sawano¹, Takuya Maruizumi¹ (1.Tokyo City Univ.)

Keywords:Germanium, mid-infrared, grating coupler

微量ガスの検出をする、中赤外光（2-20μm）で機能する光集積回路の実現に向けて、広範囲に透明であるGe が有望視されており、特にSi 基板上へのGe のエピタキシャル成長によるできるGe-on-Si (GOS) 構造が従来のCMOS 製造プロセスを利用できる点などで非常に望ましい。本研究では、GOS 上にグレーティングカプラ及び導波路を作製し、ファイバ－導波路間の最大結合効率2.65%（結合損失15.8dB）が得られた。