[19a-B201-1~8] 3.15 シリコンフォトニクス

△ [19a-B201-3] 裏面照射型石英基板上GeSnフォトダイオードの近赤外受光特性評価

〇岡 博史¹、細井 卓治¹、志村 考功¹、渡部 平司¹ (1.阪大院工)

キーワード：ゲルマニウムスズ、フォトダイオード、裏面照射