[19a-B303-1~10] 1.6 超音波

[19a-B303-4] 弾性表面波の漏洩減衰測定によるガス分析方法

〇山中 一司¹、竹田 宣生¹、赤尾 慎吾¹、辻 俊宏¹、大泉 透¹、福士 秀幸¹、岡野 達広¹、佐藤 渚¹、塚原 祐輔¹ (1.ボールウェーブ)

キーワード：弾性表面波、漏洩減衰、バックグラウンドガス

天然ガス等の微量水分計ではバックグラウンドガスの組成変動の検出が必要な場合がある。そこで、ボールSAWセンサの漏洩減衰と水分による減衰の周波数依存性の違いを用いてこれを実現する方法を検討する。原理を定式化し、空気、窒素、アルゴン、メタンをバックグラウンドガスとして実験を行った結果、水分濃度と独立にバックグラウンドガスの変動が検出され、本方法の可能性が示された。