[19a-B303-1~10] 1.6 超音波

[19a-B303-6] c軸傾斜配向ScAlN薄膜を用いた擬似すべりモード基板付き共振子による液体試料のMHz帯-GHz帯にわたる粘性評価

〇(M1)山川 愉生^1,2、唐澤 嶺^1,2、柳谷 隆彦^1,2,3 (1.早大院・先進理工、2.材研、3.JSTさきがけ)

キーワード：ScAlN、グリセリン、粘度センサ