[19a-B303-1~10] 1.6 超音波

△ [19a-B303-9] 連続ゾルゲルスプレー法によるフレキシブル圧電デバイス作製

〇中妻 啓¹、鳥越 一平¹、小林 牧子¹ (1.熊本大)

キーワード：圧電デバイス、フレキシブル超音波デバイス

スプレー塗布により圧電膜を形成するゾルゲルスプレー法を自動塗装工程に適用するための連続ゾルゲルスプレー法を確立し、フレキシブルで対象に貼り付けて使用可能な圧電超音波デバイスの実現を目指している。講演では連続ゾルゲルスプレー法により作製した圧電膜の超音波特性評価結果とともに、薄く柔軟な基材上に形成した圧電膜を配線等を含めてパッケージングする手法とその試作結果についても報告する。