[19a-C101-1~10] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [19a-C101-3] エラストマーナノシートを用いたプラズモニックカラーフィルタの製作

〇熊谷 隼人¹、高橋 功²、武岡 真司^2,3、澤田 和明¹、藤枝 俊宣^2,3、髙橋 一浩^1,3 (1.豊橋技科大、2.早大、3.JST さきがけ)

キーワード：エラストマー、表面プラズモン、カラーフィルタ

プラズモニックカラーフィルタとは表面プラズモンを利用した回折格子であり、格子周期に依存した波長選択性が得られる。本研究は、38%の弾性変形領域を有するポリスチレン‐ポリブタジエン‐ポリスチレンを用いて、膜厚数百nmの自立プラズモニックカラーフィルタを製作した。微細格子は集束イオンビームで形成した。光学測定では、表面プラズモン共鳴の理論値に一致した透過/反射ピークと色が得られた。