[19a-C104-1~12] 6.1 強誘電体薄膜

△ [19a-C104-3] 高い圧電性を持つPZT厚膜を用いた80 MHz帯高効率トランスデューサ

〇松田 友佳¹、清水 貴博¹、柳谷 隆彦^1,2,3 (1.早大先進理工、2.JST　さきがけ、3.材研)

キーワード：強誘電体、PZT