2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.3 プラズマナノテクノロジー

[19a-C201-1~11] 8.3 プラズマナノテクノロジー

2018年3月19日(月) 09:00 〜 12:00 C201 (52-201)

竹中 弘祐(阪大)、石島 達夫(金沢大)

11:45 〜 12:00

△ [19a-C201-11] マグネトロンスパッタリングを用いたSn液滴微粒子の作成および捕集

〇小山 寛1、佐々木 浩一1、高橋 和生2 (1.北大工、2.京都工繊大)

キーワード：プラズマ