[19a-C303-1~12] 3.8 光計測技術・機器

[19a-C303-10] 新小型マッハ・ツェンダー干渉計を用いた高速自動複屈折測定装置の開発

〇石田 拓運¹、守本 雄¹、高和 宏行¹、穀山 渉²、野里 英明²、服部 浩一郎² (1.ユニオプト(株)、2.産総研)

キーワード：複屈折、マッハ・ツェンダー干渉計

複屈折測定装置の高速化の実現のため、デジタル位相計の導入・光ビート周波数の変更等を行ったが、マッハ・ツェンダー干渉計の時間安定性の欠如が問題となっていた。
これを解決するために、AOMと合波素子を組み合わせた新しい光学系を製作し、複屈折測定装置に導入したところ、測定安定性が一桁程度の向上がみられ、測定装置として十分な性能となった。