[19a-D103-1~12] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[19a-D103-2] 1873–2273Kでの溶融Cr-Si-CおよびFe-Si-C合金の相互拡散係数

〇川西 咲子¹、柴田 浩幸¹、吉川 健² (1.東北大多元研、2.東大生研)

キーワード：シリコンカーバイド、溶液成長、拡散係数

SiCの高速溶液成長を安定成長界面を維持しつつ実現するためには、成長界面近傍での溶質の輸送環境の把握・制御が重要であり、溶媒合金の高温物性値の整備が必要である。そこで本研究では、TGZM法により1873～2273KでのSiC飽和のCr-Si-CおよびFe-Si-C溶液の相互拡散係数を測定し、10^-8～10^-7m²/s程度の値を得た。