[19a-D103-1~12] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[19a-D103-4] SiC溶液成長における成長中の溶液流れ切り替えによる結晶全面のステップフローの安定化

〇(M1)遠藤 友樹¹、朱 燦¹、村山 健太¹、原田 俊太¹、田川 美穂¹、宇治原 徹^1,2 (1.名大工、2.産総研)

キーワード：SiC、溶液成長