[19a-D103-1~12] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[19a-D103-6] Si-Cr-Co溶媒からの高品質•高速SiC溶液成長

玄 光龍¹、土本 直道¹、鈴木 皓己¹、〇太子 敏則¹ (1.信州大工)

キーワード：SiC、溶液成長、高品質

Si_0.6Cr_0.4およびCoを加えたSi_0.56Cr_0.4Co_0.04の溶媒によるSiC溶液成長を行い、結晶の成長速度および表面状態の変化を検討した。溶媒へのCoの添加が炭素溶解度を高め高速成長に寄与するとともに、結晶品質を向上させる効果を合わせ持つことがわかった。