[19a-F104-1~10] 9.2 Nanowires and Nanoparticles

△ [19a-F104-4] Fabrication of Suspended Nanowire Device for NEMS Application

〇(M2)Wataru Tomita^1,2, Satoshi Sasaki¹, Hajime Okamoto¹, Kota Tateno¹, Hiroshi Yamaguchi^1,2 (1.NTT-BRL, 2.Tohoku Univ.)

Keywords:nanowire, NEMS, semiconductor

半導体ナノワイヤの架橋構造デバイスはNEMSへの応用が期待されている。
本研究では、新たなプロセス手法で結晶成長させたInAsナノワイヤの架橋構造デバイスを作製した。
インクジェットプリンタによる集積とPMGI犠牲層のオゾンクリーニングによる除去が、
長いナノワイヤを高い制御性で基板上に配置することを可能としている。