[19a-F104-1~10] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

△ [19a-F104-4] NEMS応用に向けたナノワイヤ架橋構造素子の作製

〇(M2)富田 航^1,2、佐々木 智¹、岡本 創¹、舘野 功太¹、山口 浩司^1,2 (1.NTT物性研、2.東北大院理)

キーワード：ナノワイヤ、NEMS、半導体

半導体ナノワイヤの架橋構造デバイスはNEMSへの応用が期待されている。
本研究では、新たなプロセス手法で結晶成長させたInAsナノワイヤの架橋構造デバイスを作製した。
インクジェットプリンタによる集積とPMGI犠牲層のオゾンクリーニングによる除去が、
長いナノワイヤを高い制御性で基板上に配置することを可能としている。