マイクロテクスチャガラス上へのBaSi<sub>2</sub>薄膜の作製と光学評価

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.2 探索的材料物性・基礎物性

2018年3月19日(月) 09:30 〜 12:15 F202 (61-202)

鵜殿治彦(茨城大)、寺井慶和(九工大)

10:30 〜 10:45

〇(DC)中川慶彦¹、Vismara Robin²、Loef Thomas²、Tian Yilei²、後藤和泰¹、黒川康良¹、Isabella Olindo²、Zeman Miro²、宇佐美徳隆¹ (1.名大工、2.デルフト工科大学)

キーワード：BaSi2、真空蒸着、マイクロテクスチャガラス