2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[19a-F202-1~10] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

2018年3月19日(月) 09:30 〜 12:15 F202 (61-202)

鵜殿 治彦(茨城大)、寺井 慶和(九工大)

10:30 〜 10:45

[19a-F202-5] マイクロテクスチャガラス上へのBaSi2薄膜の作製と光学評価

〇(DC)中川 慶彦1、Vismara Robin2、Loef Thomas2、Tian Yilei2、後藤 和泰1、黒川 康良1、Isabella Olindo2、Zeman Miro2、宇佐美 徳隆1 (1.名大工、2.デルフト工科大学)

キーワード:BaSi2、真空蒸着、マイクロテクスチャガラス