[19a-F214-1~11] 6.5 表面物理・真空

△ [19a-F214-11] 新しい非蒸発ゲッター（NEG）コーティングの応用と評価

〇(D)宮澤 徹也¹、栗原 真志²、大野 真也²、寺島 矢³、夏井 祐人³、加藤 博雄³、狩野 悠⁴、中山 泰生⁴、加藤 良浩⁵、橋本 綾子⁶、松本 益明⁷、ビルデ マーカス⁸、福谷 克之⁸、菊地 貴司⁹、間瀬 一彦^1,9 (1.総研大高エネ、2.横国大工、3.弘前大理工、4.東理大理工、5.入江工研、6.物材機構、7.学芸大物理、8.東大生産研、9.KEK物構研)

キーワード：非蒸発ゲッター、チタン、パラジウム

非蒸発ゲッター（NEG）コーティングはオイルフリー、振動フリー、省エネルギー、非磁性といった特徴がある。従来のNEGコーティングは、真空加熱と大気曝露を繰り返すと排気性能が低下するなどの問題点があった。我々は酸素フリーの超高真空中でTiを厚さ1μm成膜したのちPdを厚さ10nm成膜することで、活性化と大気ベントを繰り返しても排気性能が低下しない新しいNEGコーティングを開発した。Pd/Ti薄膜の排気性能や構造などについて報告する。