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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.5 デバイス／集積化技術

[19a-G203-1~9] 13.5 デバイス／集積化技術

2018年3月19日(月) 09:00 〜 12:00 G203 (63-203)

小林正治(東大)、遠藤哲郎(東北大)

11:30 〜 11:45

[19a-G203-8] [第9回シリコンテクノロジー分科会研究奨励賞受賞記念講演] Ultrahigh-Q photonic crystal nanocavities fabricated by CMOS process technologies

〇芦田絋平¹ (1.大阪府立大)

キーワード：シリコンテクノロジー