[19a-G205-1~9] 12.1 作製・構造制御

[19a-G205-1] シワ構造を用いたストレッチャブルデバイスの基盤技術の創製

〇武居 淳¹、吉田 学¹ (1.産総研)

キーワード：薄膜、シワ、ストレッチャブル

デバイスを体表などの三次元形状に取り付けるためにはフレキシブルかつストレッチャブルであることが不可欠である。本研究では弾性体表面上に凹凸を持つ微細構造(シワ構造)を作ることで耐伸張性を持った構造を作り、さらにその表面に導電性材料を蒸着することでストレッチャブル配線を実現した。今回はシワ構造の制作方法、および得られた配線のひずみに対する抵抗値変化を評価した。