[19a-G205-1~9] 12.1 Fabrications and Structure Controls

[19a-G205-3] Development of novel thin film coating method causing a liquid level lowering by solution drawing

〇Yuki Fujii¹, Heisuke Sakai¹, Murata Hideyuki¹ (1.JAIST)

Keywords:thin film, thin film coating method, nano

溶液プロセスによる薄膜形成は低コストなデバイス作製法として近年注目されている。しかしスピンコート法やドクターブレード法は塗布溶液の粘度に制限があり、塗布対象物も平面であることが必須であるなど製膜条件に一定の制限がある。本研究では、塗布溶液を容器から抜き取ることにより基板に接した塗布溶液の液面を降下させることで薄膜形成を行う新規な薄膜形成法の開発に成功したので報告する。