[19a-G205-1~9] 12.1 作製・構造制御

[19a-G205-3] 溶液抜き取りによる液面降下を利用した新規薄膜形成法の開発

〇藤井 悠貴¹、酒井 平祐¹、村田 英幸¹ (1.北陸先端大 先端科学技術)

キーワード：薄膜、薄膜形成法、ナノ

溶液プロセスによる薄膜形成は低コストなデバイス作製法として近年注目されている。しかしスピンコート法やドクターブレード法は塗布溶液の粘度に制限があり、塗布対象物も平面であることが必須であるなど製膜条件に一定の制限がある。本研究では、塗布溶液を容器から抜き取ることにより基板に接した塗布溶液の液面を降下させることで薄膜形成を行う新規な薄膜形成法の開発に成功したので報告する。