[19a-P4-1~8] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[19a-P4-6] ラプラス変換QTSによる欠陥評価方法の改善

〇(D)小池 俊平¹、内田 和男¹、野崎 眞次¹ (1.電通大情報理工)

キーワード：欠陥評価、QTS、L-QTS

欠陥準位をエネルギー的に高分解能に測定可能な逆ラプラス変換アルゴリズムを利用したQTS（Charge Transient Spectroscopy）システムの改善方法に関して報告する。従来のQTSには、時間経過と共に収集された電荷の放電やリーク電流の影響により、欠陥準位による純粋な指数関数波形のみを測定できないというデメリットがある。本報告では、QTSの高速応答性を損なわずに上記のデメリットを回避し、逆ラプラス変換アルゴリズムにより評価する方法を報告する。