[19a-P6-1~79] 17 ナノカーボン（ポスター）

△ [19a-P6-50] 多チャンネルグラフェン FETバイオセンサ ーの測定システム構築

〇牛場 翔太¹、小野 尭生²、谷奥 正巳²、黒松 亜紀²、金井 康²、井上 恒一²、木村 雅彦¹、松本 和彦² (1.村田製作所、2.阪大産研)

キーワード：グラフェン、バイオセンサー、デバイス

グラフェンFET（G-FET）をアレイ状に配置したデバイスを作製し、多数のG-FETを同時に評価するシステムを構築した。CVD合成したグラフェンを電極形成した基板に転写し、多数のG-FETを同一基板上に得た。構築した測定システムにより、個々のG-FETのばらつきが容易に可視化された。G-FET上にサンプルとしてウシ血清アルブミンを含むリン酸バッファーを滴下した結果、10 fMの濃度からG-FETアレイが応答した。