[19a-P6-1~79] 17 ナノカーボン（ポスター）

[19a-P6-64] 塩化ナトリウムをアシスト剤に用いた単層 MoS₂及び WS₂の気相成長

〇五十嵐 玲太¹、白井 肇¹、上野 啓司¹ (1.埼大院理工)

キーワード：層状物質、化学気相成長、物理気相成長

MoS₂やWS₂等の遷移金属ダイカルコゲナイドは、バンドギャップを有した層状物質であり、次世代デバイスにおけるチャネル材料への応用が期待されている。大面積薄膜を得るには化学気相成長(CVD)法や物理気相成長(PVD)がよく用いられるが、再現性良く高品質な大面積単結晶グレインを得るのは容易ではない。本研究では、塩化ナトリウムをアシスト剤に用いて薄膜成長を行い、得られた単層膜に対する評価を行った。