[19a-P6-1~79] 17 ナノカーボン（ポスター）

[19a-P6-67] H₂SとWF₆ガスソースを用いたWS₂のCVD形成

〇岡田 直也¹、張 文馨¹、古賀 健司¹、入沢 寿史¹ (1.産総研)

キーワード：WS2、CVD

LSIプロセスに適用可能なH₂SとWF₆によるガスソースCVD法において、ウェハスケールで均一で良好な結晶性を有するWS₂の合成を確認した。