[19p-A404-1~19] 3.7 レーザープロセシング

△ [19p-A404-16] バーストモードNd:YAGレーザーを用いた液中パルス加熱による粒子加工

〇(DC)榊 祥太¹、石川 善恵²、越崎 直人¹ (1.北大工、2.産総研)

キーワード：液中レーザー溶融法、サブミクロン粒子、球状粒子

液中の粒子にパルスレーザーを照射してサブミクロン球状粒子を合成する手法が開発され，高出力の産業用ピコ秒・MHzレーザーを用いて粒子生成効率を改善することが期待されている．本研究では，各パルスを短い一定間隔のパルス群に分割して照射するバーストモードを用いて，液中の酸化鉄粒子にピコ秒・MHzレーザーを照射した．シングルパルスの際は多量の不純物が生成したが，バーストモードを用いた際は不純物の生成が抑えられた．