[19p-A404-1~19] 3.7 レーザープロセシング

[19p-A404-5] 異なる偏光を持つフェムト秒レーザーパルス対照射により誘起されるジルコニアセラミックス表面の周期構造

〇欠端 雅之¹、屋代 英彦¹、鳥塚 健二¹ (1.産総研　電子光)

キーワード：フェムト秒レーザー、ジルコニア、表面周期構造

イットリア安定化正方晶ジルコニア多結晶体(3Y-TZP)に形成される表面周期構造（LIPSS)は、偏光に平行で周期Λが波長λよりわずかに大きいことを観測している。これまで形成機構解明を目的とし、直交する偏光を持つ強度比1:1のパルス対照射を報告した。今回、パルス対の照射フルエンスを変化した場合と、逆回り円偏光パルス対を照射した結果を報告する。