[19p-B303-1~18] 11.4 アナログ応用および関連技術

[19p-B303-8] 1D-時間遅延線型超伝導ナノストリップX線イメージング検出器の開発

〇渡辺 千春¹、全 伸幸¹、藤井 剛¹、牧瀬 圭正¹、浮辺 雅宏¹、大久保 雅隆¹ (1.産業技術総合研究所)

キーワード：超伝導薄膜、X線検出器、超伝導細線フォトン検出器

共鳴非弾性散乱法では、放射光光源からの高輝度X線で試料中の電子を共鳴励起し、その後の緩和過程で放出される軟X線を回折格子と半導体ベースの軟X線用CCDを組み合わせた波長分散方式を用いて高いエネルギー分解能で評価、物質中の電子状態の詳細解析を実現しているが、物性の詳細分析にはより高いエネルギー分解能が求められている。そこで、我々は空間分解能500 nmの1次元(1D)光子撮像素子の実現を目指し、大面積超伝導ストリップライン光子検出器(SSPD) の開発を行った。