[19p-C101-1~12] 集積化センサシステムによるユビキタス健康管理を目指して

[19p-C101-10] 積層メタル技術で作製したMEMS慣性センサのモジュール化の検討(2)

〇古賀 達也¹、高安 基大¹、山根 大輔¹、伊藤 浩之¹、小西 敏文^1,2、道正 志郎¹、石原 昇¹、町田 克之¹、益 一哉¹ (1.東工大、2.NTT-AT)

キーワード：MEMS、慣性センサ、ノイズ