[19p-C102-1~9] 進展めざましい電子源と最近の新たなアプリケーション

[19p-C102-1] 電子ビーム技術におけるブレークスルーと新しい応用分野

〇三村 秀典¹ (1.静大電研)

キーワード：電子源、電界放出電子源

電子ビーム技術は、近年いくつかのブレークスルーを起こすことができ、再び注目を集めている。本講演は、シンポジウムのIntroduction的な役割で、電子ビーム技術の最近のブレークスルーと新しい応用分野について概説する。