[19p-C102-1~9] Recent progresses in development of electron sources and their novel applications

[19p-C102-6] Development of 300GHz band TWT using MEMS technology

〇Norio Masuda¹, Koji Okamoto¹, Mitsuru Yoshida¹, Norihiko Sekine², Atsushi Kanno², Kunio Tsutaki³ (1.NEC Network and Sendor Systems, 2.NICT, 3.Shizuoka Univ.)

Keywords:traveling wave tube, terahertz wave, MEMS

筆者らはW帯（75～111GHz）で5W出力が得られるTWTを開発し，ボール紙製の封筒内部の樹脂サンプルのイメージング等に適用した．さらに300GHz帯で動作する可搬型電力モジュール用のTWTを開発するため，X線LIGA（Lithographie Galvanoformung Abformung）技術を応用したMEMS技術を用いてTWTの増幅素子である遅波回路を小型化した．これを用いて300GHz帯で動作するTWTを試作し最大+7dBのシステムゲインを得た．遅波回路単体では最大+37dBの増幅作用を得た．