[19p-C102-1~9] 進展めざましい電子源と最近の新たなアプリケーション

[19p-C102-6] MEMS技術を用いた300GHz帯TWTの開発

〇増田 則夫¹、岡本 耕治¹、吉田 満¹、関根 徳彦²、菅野 敦史²、蔦木 邦夫³ (1.NECネットワーク・センサ、2.情報通信研究機構、3.静岡大学)

キーワード：進行波管、テラヘルツ波、マイクロマシン

筆者らはW帯（75～111GHz）で5W出力が得られるTWTを開発し，ボール紙製の封筒内部の樹脂サンプルのイメージング等に適用した．さらに300GHz帯で動作する可搬型電力モジュール用のTWTを開発するため，X線LIGA（Lithographie Galvanoformung Abformung）技術を応用したMEMS技術を用いてTWTの増幅素子である遅波回路を小型化した．これを用いて300GHz帯で動作するTWTを試作し最大+7dBのシステムゲインを得た．遅波回路単体では最大+37dBの増幅作用を得た．