[19p-C102-1~9] 進展めざましい電子源と最近の新たなアプリケーション

[19p-C102-8] 超高感度ＦＥＡ-ＨＡＲＰイメージセンサー

〇難波 正和¹、本田 悠葵¹、宮川 和典¹、久保田 節¹ (1.NHK技研)

キーワード：電界放出陰極、超高感度、イメージセンサー

固体撮像デバイスを凌駕する高感度を有する小型な撮像デバイスを目指して、電荷増倍型の超高感度光電変換膜HARPと微小な電界放出陰極を面上に多数並べたFEA（Field Emitter Array）とを組み合わせたFEA-HARPイメージセンサーの開発を進めた。ここでは、原理実証に向けた640×480画素FEA-HARPの試作その結果、ならびに実用化に向けた取り組みについて紹介する。