[19p-C103-1~8] 先端3Ｄ原子イメージングが拓く新しい材料・デバイス技術

[19p-C103-3] 先端的電子顕微鏡による微細構造解析の現状

〇木本 浩司¹、長井 拓郎¹、吉川 純¹、山下 俊介¹ (1.物材機構)

キーワード：電子顕微鏡法

広義の透過電子顕微鏡法では、高い空間分解能で様々な材料評価を行うことができる。走査透過電子顕微鏡(STEM)像で結晶構造を解析しうるのみでなく、電子エネルギー損失分光法(EELS)により元素分析や化学結合状態の解析が可能であり、ローレンツ顕微鏡法などにより局所領域の電磁場も可視化できる。本発表では近年の電子顕微鏡法の進歩について概観し、著者らの研究例を紹介する。