2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

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シンポジウム(口頭講演)

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[19p-C103-1~8] 先端3D原子イメージングが拓く新しい材料・デバイス技術

2018年3月19日(月) 13:45 〜 17:45 C103 (52-103)

筒井 一生(東工大)、福村 知昭(東北大)

17:15 〜 17:45

[19p-C103-8] リアルタイム測定で探るグラフェン成長の活性サイト

斉木 幸一朗1 (1.東大新領域)

キーワード:グラフェン、核形成、成長機構

Cu多結晶箔上のグラフェンのCVD成長は,大面積かつ高品質な試料を得る有力な手法である.われわれはCVD成長中のリアルタイム観察から成長機構の解明を目指している.成長における活性サイトは成長初期の核形成位置と,その後の沿面成長では微結晶端面である.本講演では,われわれが開発した熱放射顕微鏡を用いた成長するグラフェンの実空間観察から,核形成の要因,端面での取り込み過程を考察した結果を紹介する.